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东莞市天测光学设备有限公司
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    BenchMark 450 主要技术参数

  XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米

Z   精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）

英制单位 公制单位

测量范围 18" X18"X6" 450X450x150毫米

尺寸 48" X45"X67" 1210X1140X1700毫米

负载能力 65千克

台面分辨率 0.5微米

光学 双重放大 (物镜 X)

低 0.8 1.0 2.5 5.0 10.0 25.0

高 3.2 4.0 10.0 20.0 40.0 100.0

标配物镜 1X

可选物镜 0.8X,2.5X,5X

照明 LED 背光,LED 同轴面光

可选特征 多色可编程环形灯 (PRL)

Ronchi 栅格自动ju jiao

TTL 激光

旋转分度工作台



 

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